Hệ thống đo kiểm wafer cao áp 4881HV của Keysight giúp các nhà sản xuất bán dẫn công suất tăng năng suất bằng cách cho phép đo kiểm tham số lên đến 3kV, hỗ trợ đo kiểm áp cao và điện áp thấp chỉ trong một lần đo.

Thông thường, các nhà sản xuất đo các tấm wafer bằng các thiết bị đo áp cao và áp thấp riêng biệt. Tuy nhiên, nhu cầu về bán dẫn công suất đang gia tăng nhanh chóng vì tính đa năng, hiệu năng cao và các thiết bị thế hệ tiếp theo như silicon carbide (SiC) và gallium nitride (GaN). Do đó, khách hàng cần một giải pháp để đo kiểm chính xác và hiệu quả hơn cho thiết bị của họ và rút ngắn thời gian đưa sản phẩm ra thị trường.

Giải pháp của Keysight giải quyết những thách thức này bằng cách giúp các nhà sản xuất thiết bị công suất có thể giám sát kiểm soát quy trình (PCM) và đo kiểm nghiệm thu wafer (WAT) trong sản xuất. Hệ thống đo kiểm mới mang lại những lợi ích sau:

• Chức năng đo kiểm cao áp sẵn sàng cho tương lai: Ma trận chuyển mạch cao áp (HV-SWM) hỗ trợ các yêu cầu đo lên đến 3kV, có thể mở rộng lên đến 29 chân và tích hợp với các khối đo nguồn chính xác (SMU). Khả năng này cho phép thực hiện các phép đo linh hoạt cao từ dòng thấp xuống độ phân giải dưới pA lên đến 3kV ở tất cả các chân. Ngoài ra, hệ thống còn hỗ trợ đo điện dung cao áp và các phép đo kiểm tham số khác.
• Đo kiểm one-pass giúp tăng năng suất và hiệu quả:HV-SWM cho phép sử dụng một hệ thống duy nhất thay vì các hệ thống đo cao áp và thấp áp riêng biệt. Sử dụng một hệ thống nâng cao hiệu quả, giảm diện tích và thời gian đo kiểm. Hệ thống này tích hợp với môi trường tự động hóa nhà máy sử dụng phần mềm SPECS-FA của Keysight, giúp nâng cao hiệu quả của toàn bộ quy trình sản xuất.
• Tăng cường an toàn và độ tin cậy:Hệ thống đo kiểm này có mạch bảo vệ tích hợp và điều khiển máy, đảm bảo người vận hành và thiết bị không bị ảnh hưởng bởi điện áp cao trong quá trình đo kiểm và tuân thủ các quy định an toàn, bao gồm các tiêu chuẩn SEMI S2.

Shinji Terasawa, Phó Chủ tịch kiêm Tổng Giám đốc bộ phận Giải pháp Đo kiểm wafer của Keysight, cho biết: “Keysight vui mừng giới thiệu hệ thống đo kiểm wafer mới của chúng tôi dành cho bán dẫn công suất, được phát triển dựa trên kinh nghiệm lâu năm của chúng tôi trong lĩnh vực đo kiểm bán dẫn tiên tiến. Sứ mệnh của chúng tôi là dẫn dắt thị trường bằng cách cung cấp các giải pháp tiên tiến có thể dự đoán và đáp ứng nhu cầu phát triển nhanh chóng của lĩnh vực bán dẫn. Sản phẩm mới nhất này thể hiện cam kết vững chắc của chúng tôi với thị trường.”